Nelīdzsvarotā Magnetron izsmidzināšanā plazma tiek ievilkta arī substrātā, un argona joni arī bombardē augošo plāno plēvi. … Elektronu klātbūtne ap substrātu izraisa neitrālu gāzes atomu jonizāciju un plazmas iekļūšanu šajā reģionā.
Kāpēc magnetrons izsmidzina?
Magnetrona izsmidzināšanā izmanto slēgtu magnētisko lauku, lai notvertu elektronus, palielinot sākotnējās jonizācijas procesa efektivitāti un radot plazmu pie zemāka spiediena, samazinot gan fona gāzu iekļaušanu augošajā plēves un enerģijas zudumi izsmidzinātajā atomā gāzes sadursmju rezultātā.
Ko var izmantot magnetronu izsmidzināšanai?
5 Magnetronu izsmidzināšana. Magnetronu izsmidzināšana ir liela ātruma vakuuma pārklājuma tehnika, kas ļauj uzklāt daudzu veidu materiālus, tostarp metālus un keramiku, uz tik daudzu veidu substrāta materiāliem, izmantojot īpaši izveidotu magnētisku. lauks tiek lietots diodes izsmidzināšanas mērķim.
Kas ir slēgta lauka nelīdzsvarota magnetrona izsmidzināšana?
Slēgtā lauka nelīdzsvarotā magnetronu izsmidzināšanas jonu pārklājuma sistēma, ko izstrādājusi Teer Coatings Ltd., rada optimizētus nogulsnēšanas apstākļus, kas ļauj uzklāt blīvus, cietus pārklājumus ar izcilu adhēziju. Uz CFUBMSIP vienošanos attiecas patenti, kas piešķirti Teer Coatings Ltd.
Kas ir nelīdzsvarots magnetrons?
Magnetroni parasti tiek klasificēti kā “līdzsvaroti” vai “nesabalansēti”. … Ja nulles punkts atrodas tuvu mērķa virsmai, elektroni var vieglāk izkļūtun magnetrons ir nelīdzsvarots. Nelīdzsvaroti dizaini var radīt lielu plānās kārtiņas jonu bombardēšanu vienlaikus ar nogulsnēšanos.
