Fotolitogrāfiju parasti izmanto datoru mikroshēmu ražošanai. Ražojot datoru mikroshēmas, substrāta materiāls ir silīcija vafele, kas pārklāta ar pretestību. Šis process ļauj vienlaikus izveidot simtiem mikroshēmu uz vienas silīcija plāksnītes.
Kā notiek fotolitogrāfija?
Fotolitogrāfija izmanto trīs pamata procesa soļus, lai pārsūtītu rakstu no maskas uz plāksnīti: pārklājiet, attīstiet, eksponējiet. Nākamā procesa laikā raksts tiek pārnests uz vafeles virsmas slāni. Dažos gadījumos pretestības rakstu var izmantot arī, lai definētu nogulsnētas plānās kārtiņas modeli.
Kas ir fotolitogrāfija un kā tā darbojas?
Fotolitogrāfija ir formēšanas process, kurā gaismjutīgs polimērs tiek selektīvi pakļauts gaismai caur masku, atstājot polimērā latentu attēlu, ko pēc tam var selektīvi izšķīdināt, lai iegūtu rakstainu. piekļuve pamatā esošajam substrātam.
Kas ir fotolitogrāfija un kā to izmanto tranzistoru ieviešanai?
Tā izmanto gaismu, lai pārnestu ģeometrisku rakstu no fotomaskas (ko sauc arī par optisko masku) uz gaismjutīgu (tas ir, gaismas jutīgu) ķīmisko fotorezistu uz pamatnes. … Tas nodrošina precīzu radīto objektu formas un izmēra kontroli un var rentabli izveidot rakstus visā virsmā.
Kāpēc to sauc par fotolitogrāfiju?
Pusvadītāju litogrāfija(Fotolitogrāfija) - Pamatprocess . Integrālās shēmas (IC) izgatavošanai nepieciešami dažādi fizikāli un ķīmiski procesi, kas tiek veikti uz pusvadītāju (piemēram, silīcija) substrāta. … Vārds litogrāfija cēlies no grieķu vārda lithos, kas nozīmē akmeņi, un graphia, kas nozīmē rakstīt.
