Fotolitogrāfija ir process, ko izmanto mikroražošanā, lai pārnestu ģeometriskus rakstus uz plēvi vai substrātu. Pusvadītāju ģeometriskās formas un raksti veido sarežģītas struktūras, kas ļauj piedevām, elektriskām īpašībām un vadiem pabeigt ķēdi un izpildīt tehnoloģisku mērķi.
Kas ir fotolitogrāfijas process?
Fotolitogrāfija, ko sauc arī par optisko litogrāfiju vai UV litogrāfiju, ir process, ko izmanto mikroapstrādē, lai uzzīmētu daļas uz plānas plēves vai pamatnes lielākās daļas (saukta arī par plāksni). … Sarežģītās integrālās shēmās CMOS plāksne var iziet fotolitogrāfisko ciklu pat 50 reizes.
Kas ir mikroapstrādes process?
Mikroražošana ir mikrometru skalu un mazāku miniatūru struktūru izgatavošanas process. … Galvenie mikrofabrikas jēdzieni un principi ir mikrolitogrāfija, dopings, plānās kārtiņas, kodināšana, līmēšana un pulēšana.
Kas ir litogrāfijas process pusvadītājos?
Pusvadītāju litogrāfijas sistēma veic procesu, kurā ļoti sarežģīti ķēdes raksti, kas uzzīmēti uz fotomaskas, kas izgatavota no lielas stikla plāksnes, tiek samazināti, izmantojot īpaši augstas veiktspējas lēcas un pakļauti silīcija substrātam, kas pazīstams kā vafele. …
Kas ir litogrāfija ražošanas procesā?
Litogrāfija irprocess, kurā maskas ģeometrisko formu raksti tiek pārnesti uz plānu, pret starojumu jutīga materiāla slāni(ko sauc par pretestību), kas pārklāj pusvadītāju plāksnītes virsmu. 5.1. attēlā shematiski parādīts litogrāfiskais process, ko izmanto IC ražošanā.
