Fotolitogrāfiju parasti izmanto datoru mikroshēmu ražošanai. Ražojot datoru mikroshēmas, substrāta materiāls ir silīcija vafele, kas pārklāta ar pretestību. Šis process ļauj vienlaikus izveidot simtiem mikroshēmu uz vienas silīcija plāksnītes.
Kā notiek fotolitogrāfija?
Fotolitogrāfija izmanto trīs pamata procesa soļus, lai pārsūtītu rakstu no maskas uz plāksnīti: pārklājiet, attīstiet, eksponējiet. Nākamā procesa laikā raksts tiek pārnests uz vafeles virsmas slāni. Dažos gadījumos pretestības rakstu var izmantot arī, lai definētu nogulsnētas plānās kārtiņas modeli.
Kāpēc to sauc par fotolitogrāfiju?
Pusvadītāju litogrāfija (fotolitogrāfija) - Pamatprocess . Integrālās shēmas (IC) izgatavošanai nepieciešami dažādi fizikāli un ķīmiski procesi, kas tiek veikti uz pusvadītāju (piemēram, silīcija) substrāta. … Vārds litogrāfija cēlies no grieķu litos, kas nozīmē akmeņi, un graphia, kas nozīmē rakstīt.
Kāpēc litogrāfija ir svarīga?
Litogrāfija ir process, kurā ģeometrisku formu raksti maskā tiek pārnesti uz plānu starojuma jutīga materiāla slāni(ko sauc par pretestību), kas pārklāj pusvadītāju plāksnītes virsmu. 5.1. attēlā shematiski parādīts litogrāfiskais process, ko izmanto IC ražošanā.
Kura ir litogrāfijas metodēs visplašāk izmantotā metode?
Optiskālitogrāfija ir uz fotoniem balstīta tehnika, kas sastāv no attēla projicēšanas gaismjutīgā emulsijā (fotorezistā), kas pārklāta uz substrāta, piemēram, silīcija plāksnītes. Tas ir visplašāk izmantotais litogrāfijas process liela apjoma nanoelektronikas ražošanā pusvadītāju rūpniecībā.
