Pusvadītāju litogrāfijas (saukta arī par fotolitogrāfiju) gadījumā mūsu akmeņi ir silīcijs vafeles, un mūsu raksti ir rakstīti ar gaismas jutīgu polimēru, ko sauc par fotorezistu.
Ko jūs domājat ar fotolitogrāfiju?
Fotolitogrāfija, saukta arī par optisko litogrāfiju vai UV litogrāfiju, ir process, ko izmanto mikroapstrādē, lai uzzīmētu daļas uz plānas plēves vai pamatnes lielākās daļas (saukta arī par vafeli).. … Ar šo metodi var izveidot ārkārtīgi mazus rakstus līdz pat dažiem desmitiem nanometru.
Kāpēc litogrāfija tiek izmantota pusvadītāju ražošanā?
Fotolitogrāfija ir process, ko izmanto mikrofabrikā, lai pārnestu ģeometriskus rakstus uz plēvi vai substrātu. Pusvadītāju ģeometriskās formas un raksti veido sarežģītas struktūras, kas ļauj piedevām, elektriskām īpašībām un vadiem pabeigt ķēdi un izpildīt tehnoloģisku mērķi.
Kāds ir fotolitogrāfijas mērķis?
Fotolitogrāfija ir viena no svarīgākajām un vienkāršākajām mikroapstrādes metodēm, un to izmanto, lai materiālā izveidotu detalizētus rakstus. Izmantojot šo metodi, formu vai rakstu var iegravēt, selektīvi pakļaujot gaismas jutīgam polimēram ultravioleto gaismu.
Kas ir pusvadītāju litogrāfijas iekārta?
Pusvadītāju litogrāfijas aprīkojums tiek izmantots pusvadītāju mikroshēmas ekspozīcijas fāzēražošanas process. … Pusvadītāju litogrāfijas iekārtā tiek izmantots projekcijas objektīvs, lai samazinātu ķēdes rakstu, kas ir uzrakstīts uz oriģinālās plāksnes, ko sauc par tīklojumu, un eksponētu zīmējumu uz plāksnītes.
